通常来讲,半导体是一种材料,硅是其中最主要的元素,还包括锗、砷化镓、碳化硅等。将半导体材料经过一系列的工艺加工制成集成电路,继而被用在各式我们熟知的电子设备上。像电视、电脑、手机等与日常活动息息相关的电子设备,都离不开半导体的“鼎力相助”。随着电子设备的需求呈指数级增长,半导体元件的生产也在加快节奏。而在半导体生产中有着极为关键作用的压缩空气被大量需用。
集成电路是电子设备中极为精密的部分,一粒微小的灰尘或将造成整个电路的失效。举例来说,当电路板处于初始制造过程中时,微元件被放置在晶圆/电路板上。此时,这些组件不会相互连接,随后要使用压缩空气将焊料嵌入(挤压)到电路板上的微观孔中,而如果压缩空气存在油污,就会对造价高昂的半导体元件造成损害。
因此其生产过程需要高度专业的技术和严苛洁净的环境。使用0级无油的压缩空气,不仅是封闭生产环境的高纯度保证,也将促进生产力提升,减少因污染而造成的生产损失。
半导体制造业通用用气品质要求如下:
1.含油要求 0.00ppm
2.含尘要求 0.01μm
3.露点要求 -40℃至-70°C(PDP)
4.排气压力 0.8-0.85MPa
主要用气点如下:
1、仪表用气
2、空分用气
3、工艺用气
英柯艾尔为电子行业的半导体生产线提供了无油空压机租赁整体解决方案,其中包括:
1.集装箱式无油空压机,主机品牌阿特拉斯·科普柯或英格索兰,性能稳定;集装箱式设计无需额外搭建防雨棚,不受高温、暴雨、沙尘等极端天气影响,优异的噪音控制
2.低气损干燥机、冷干机
3.稳压系统,快接软管,流量计、露点显示器等
4.设备外围用防护栏围挡,保障施工安全
5.驻厂资深工程师,并且具备丰富的吹扫、试压、调试配合服务经验,充分保障设备稳定和施工进度
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